精密技术相对于精密加工，一般精密加工精度为1~0.1μm，表面粗糙度为0.1~0.025μm;超精密加工精度可在0.1μm以内，表面粗糙度可在0.025μm以内。随着技术的发展，超精密加工已进入纳米级。
精密加工技术可分为超精密车削技术、超精密铣削技术、超精密磨削技术、表面镜面抛光技术和超精密特种加工技术，以及现阶段相应的加工方法的精度范围。
当某些典型部件进行超精密加工时，有时会单独提出该部件的名称。作为这类部件超精密加工的一类技术总称，如大型光学非球形部件超精密加工技术，涵盖了超精密加工技术领域的许多技术技术。
从20世纪50年代到80年代，超精密加工主要用于航空航天、天文学等领域，实现球面的制造。在此期间，美国率先开展了以单点金刚石切割为代表的超精密加工技术。
此外，设备精度逐渐接近纳米水平。加工工件的范围越来越广。随着数控技术的发展，超精密五轴铣削和飞行切割技术可以实现对称非球面等复杂零件的制造。
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